X熒光光譜儀是利用初級X射線光子或其他微觀粒子激發待測物質中的原子，使之產生熒光(次級X射線)而進行物質成分分析的儀器。當一束高能粒子(射線)在與原子的相互作用下，如果其能量大于或等于原子某一軌道電子的結合能時，可以將該軌道的電子逐出，形成空穴。此時原子處于非穩定狀態，在短時間內，軌道的外層電子向空穴躍遷，使原子恢復至穩定狀態。在外層電子躍遷的過程中，兩個殼層之間的能量差就以特征X射線的形式溢出，即產生了X熒光。探測系統測量這些放射出來的二次X射線的能量及數量或者波長，然后儀器軟件將探測系統所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量。
X熒光光譜儀主要分為波長色散型(WD-XRF)和能量色散型(ED-XRF)兩種：
波長色散型(WD-XRF)：
激發出的熒光足夠強，測量數據準確。
靈敏度較高，所測數據不存在“灰色地域”。
需將被測材料粉碎壓制成樣本后測才準確，適用于材料廠等需要準確測量的場所。
能量色散型(ED-XRF)：
不破壞被測的材料或產品，操作簡便。
可以同時測定樣品中幾乎所有的元素，分析速度快。
對鉻和溴是總量測定，可能產生一定的測量誤差，但通常不影響使用。
X熒光光譜儀的使用注意事項：
1.樣品準備：確保待測樣品干燥、無油污，避免雜質干擾測量結果。對于不規則樣品，可使用壓片機壓制成規定形狀的樣品片。
2.開機與預熱：按照儀器說明書正確開機，并進行預熱，使儀器達到穩定狀態。
3.儀器設置：根據待測樣品的性質和分析需求，設置合適的測量模式、管電壓、管電流等參數。
4.測量與記錄：將樣品放置在測量區域，啟動測量程序。測量過程中，注意觀察儀器顯示的實時數據和光譜圖，確保測量結果的準確性。測量完成后，及時記錄測量數據和結果。
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